T/CEMIA 036-2023 半導體顯示用高堿濃度負膠顯影液

范圍本文件規定了半導體顯示用高堿濃度負膠顯影液的縮略語、技術要求、檢驗方法、檢驗規則、標志及包裝、運輸、貯存和安全事項。
本文件適用于由氫氧化鉀、表面活性劑和水組成，其中氫氧化鉀的質量百分比大于8％的半導體顯示用高堿濃度負膠顯影液。此半導體顯示用高堿濃度負膠顯影液主要用于半導體制程中負性光刻膠的顯影，及薄膜品體管液品顯示器(TFT-LCD)或有機發光二極管顯示器(OLED)彩膜工藝光刻膠的顯影。

術語和定義
本文件沒有需要界定的術語和定義。

縮略語
下列縮略語適用于本文件。
HDPE：High Density Polyethylene，高密度聚乙烯。

技術要求
外觀
透明澄清液體。
色度
半導體顯示用高堿濃度負膠顯影液的色度不大于50Hazen單位(鉑-鈷色號)。
主要成分
半導體顯示用高堿濃度負膠顯影液的主要化學成分含量應符合表1的規定。


理化性能
半導體顯示用高堿濃度負膠顯影液的理化性能，應符合表2的要求。


檢驗方法
氫氧化鉀含量
按 GB/T 9725 的規定進行測試。
GB/T 9725-2007 化學試劑 電位滴定法通則

密度
按 GB/T 611-2021 的規定進行測試。
GB/T 611-2021 化學試劑 密度測定通用方法


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