T/ICMtia 4.1-2020 集成電路用氟化氬光刻膠單體 第1部分 液體甲基丙烯酸酯類

范圍
本文件規定了集成電路用氟化氬光刻膠單體第1部分液體甲基丙烯酸酯類的術語和定義、產品類型和結構特點、技術要求、分析檢測方法、工藝要求、包裝、貯存和運輸等要求。
本文件適用于由有機原料、溶劑、適宜阻聚劑等組分合成經精制后可適用于氟化氬樹脂制備用的單體。

術語和定義
下列術語和定義適用于本文件。
氟化氬光刻膠
是指在氟化氬準分子激光器為曝光光源(波長193nm)的條件下，具有良好的光學透明性、較低的吸收、較高的熱穩定性、較高的抗蝕刻性能的光刻膠。
光刻膠單體
是合成光刻膠樹脂的前體物，其質量情況決定著成膜樹脂的性能。
甲基丙烯酸酯類光刻膠單體
是指結構中均含有甲基丙烯酸酯基團的一類光刻膠單體。
氣相色譜法
氣液色譜法，又稱氣相層析。是一種在有機化學中對易于揮發而不發生分解的化合物進行分離與分析的色譜技術。
高效液相色譜法
高效液相色譜是以液體為流動相，采用高壓輸液系統，將具有不同極性的單一溶劑或不同比例的混合溶劑、緩沖液等流動相泵入裝有固定相的色譜柱，在柱內各成分被分離后，進入檢測器進行檢測，從而實現對試樣的分析。
凝膠滲透色譜法
也稱為體積排除色譜、是一種液體(液相)色譜。是利用高分子溶液通過填充有特種凝膠的柱子，把聚合物分子按照尺寸大小進行分離的方法。
高聚物
高聚物是由一種或幾種簡單低分子化合物經聚合而組成的分子量很大的化合物，又稱高分子或大分子等。高分子化合物中分子所含的原子數可達數萬，甚至數十萬，而低分子化合物分子的原子數不過幾個，最多數百個。習慣上將分子量小于500的，稱為低分子化合物，分子量大于5000 的稱為高分子化合物。
低聚物
又稱寡聚物，舊稱齊聚物。指的是由較少的重復單元所組成的聚合物。其相對分子質量介于小分子和高分子之間。一般出現在逐步聚合反應的初期，此時眾多具有可相互反應的官能團(如羧酸和醇)的單體彼此互相反應，生成了大量的二聚體、三聚體等，之后隨著反應的繼續，二聚體與三聚體之間再逐步反應生成高分子。
所用英文或字母縮寫釋義
ppm  即百萬分之一。
表達溶液濃度時，1ppm即為1μg/mL，表達固體中成分含量時，1ppm 即為1μg/g。
ppb  即十億分之一。
表達溶液濃度時，1ppb即為1×10^-3μg/mL，表達固體中成分含量時，1ppb即為1×10^-3μg/g。
NMP  N-甲基吡咯烷酮
IPA  異丙醇

產品類型和結構
性狀與結構
本系列產品為無色透明液體，結構中均含有甲基丙烯酸酯的結構，該結構在引發劑的作用下進行聚合，從而形成甲基丙烯酸酯共聚物。
產品類型


技術規格及指標




分析檢測方法
水分
按 GB/T 6283 化工產品中水分含量的測定卡爾·費休法(通用方法)的規定執行。
GB/T 6283-2008 化工產品中水分含量的測定 卡爾·費休法(通用方法)

酸值
按 GB/T 2895 塑料聚酯樹脂部分酸值和總酸值的測定執行。
GB/T 2895-2008 塑料 聚酯樹脂 部分酸值和總酸值的測定


京都電子KEM 卡爾·費休水分測定儀 MKV-710B
京都電子KEM 四通道自動電位滴定儀 AT-710M